枚葉式洗浄装置
適応サイズ：
1,800×1,500 [mm] / 1,100×1,300 [mm]
大型セル対応の洗浄装置。
1.5インチから10世代まで対応します。
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【特長】
大型化に伴い、新たな問題点(ギャップ部の洗浄・乾燥)を重点課題に、洗浄ユニット (ブラシ、HPMJ、2流体など)を組み合わせ、乾燥でもエアーナイフ、スポットナイフ、IRなどを組み合わせることにより、より優れた洗浄と乾燥を実現しています。
また、メンテナンス性、コストパフォーマンスにおいても優れた装置になっています。
PC・テレビ等の液晶パネル、自動車ガラス、ソーラーパネル等に適しています。