枚葉式多段型クリーンオーブン － 熱風循環 / IR炉
温度分布、クリーン度、昇華物対策に優れています。
大型化に伴い、昇華物対策、装置立上り時間の短縮、装置停止時間の短縮、メンテナンス時間の短縮など多くの改良を加えました。
コストパフォーマンスを始め、生産性の向上に大きく貢献します。
ロボット使用によりローダー、アンローダー、複数オーブン、冷却等システムでの製作が可能です。
（ロボットティーチング含む）
IR炉にも対応可能です。
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【特長】
・対応オーブン : シールキュア、カラーフィルタ、 タッチパネル、アレイ工程、その他
・サイズ : G2 ? G6(協力会社により G8まで対応)
・炉内昇華物への対応
・優れた温度分布均一性
・炉内クリーン度 : クラス 100以下
・炉内ワーク位置ずれ防止
・昇温、降温時の時間短縮
・シャトル構造の冷却ユニット
・ムラ防止を考慮したラックサポート
・SECS, HSMSを含む各種通信（CIM)に対応
【熱風循環システム】
- 給気ブロアでフレッシュエアを供給
- 大容量ブロアを採用し、炉内全域に一定の風量を水平に 供給、風速を確保します。
- 耐熱HEPAフィルターの使用により、炉内のクリーン度クラス100以下を保証します。
- コールドトラップを設置し、昇華物の除去・回収を行います。