ボックス型クリーンオーブン
【特長】
対応オーブン : シールキュア、カラーフィルタ、 タッチパネル、アレイ工程、その他
耐久性の優れた基本設計
独自の設計による高いコントロール精度
独自の方式により、温度分布精度のアップ
スペースの有効活用を考えたコンパクト設計
カスタムメイドに柔軟に対応
【参考仕様】
温 度 範 囲 | 50~200℃ |
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温度調整精度 | ±0.5℃ |
温度分布精度 | ±5℃ |
温度上昇時間 | 約60分 RT→200℃ |
ク リーン | クラス100 HEPAフィルター |